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1200℃cvd一体机

发布时间： 2021-04-20 21:06:49 浏览次数：2291

设备简介：

nbd-cvd1200系列一体机采用国际先进制造工艺，从美学艺术角度出发根据人体安全的角度设计，控制系统采用先进的plc 触摸屏操控系统，操作更加简单方便。温度控制采用先进的pid模糊控制，使控温精度保持在±1℃。适用于高校、科研院所、工矿企业做高温气氛烧结、气氛还原、cvd实验、真空退火等试验。

产品详情

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1.炉体与控制系统集成一体化，使试验方便快捷直观。

2.配置浮子流量计或质量流量计混气气路，可以单独设置气体流量。

3.精确pid程序多段控制，实现不同工艺多段温度时间监控。

4.炉衬采用高纯氧化铝轻质纤维材料，保温效果极佳。

5.配备机械泵或分子真空泵，可以实现不同的真空条件。

产品型号

nbd-cvdo1200

炉管直径

φ50、φ60、φ80、φ100 (可自选)

工作温度

≤1100℃

温区选择

单温区

双温区

三温区

加热区尺寸

440mm

200mm 200mm

200mm 400mm 200mm

电器规格

ac220v 4kw

ac220v 5kw

ac220v 8kw

升温速率

建议 10℃/min

控制系统

1、烧结工艺曲线设置：动态显示设置曲线，设备烧结可预存多条工艺曲线，每条工艺曲线可自由设置；

2、可预约烧结，实现无人值守烧结工艺曲线烧结；

3、实时显示烧结功率电压等信息并记录烧结数据，并可导出实现无纸记录；

4、具有实现远程操控，实时观测设备状态；

5、温度校正：主控温度和试样温度的差值，烧结全程进行非线性修正。

气体系统（可选购）

流量计类型

浮子流量计

质量流量计

管道示意图

进气接口数量

2、3、4（多路可选）

流量范围

20-250/20-800ml/min(多量程可选)

50/100/200sccm(多量程可选)

工作压差范围

0-0.15mpa

低真空系统（可选购）

真空泵型号

nbd-1.5c

nbd-3c

nbd-4c

抽气速率

1l/s

3l/s

4l/s

进排气口尺寸

φ8mm宝塔接头

kf16/25

极限压力

1000pa

100pa

10pa

工作温度

5-40℃

电气规格

ac220v

高真空系统（可选购）

真空泵型号

nbd-103(a)

nbd-103(b)

nbd-103(c)

抽气速率

110l/s

600l/s

700l/s

真空测量计

复合真空计

极限压力

10^-3pa

10^-4pa

10^-5pa

工作温度

5-40℃

电气规格

ac220v

ac 220v

ac 380v

* 支持非标定做，更多型号，欢迎来电垂询400-000-3746

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