pecvd等离子体化学气相沉积系统-ag真人试玩平台

1. 清洗镀膜一气呵成，杜绝二次污染；

2. 上开启式结构，方便观察试样；

3. 产品采用全自动控制方式，触摸屏，数字化显示；

4. 设备一体化程度高；

5. 稳定的射频电源，均匀的温度分布，提高成膜质量；

产品型号

nbd-pecvd1200-80ti

电气规格

ac220v    4kw

可达温度

1200 ℃

连续温度

1150℃

可达加热速率

≤  20 ℃/分钟

射频电源

300或500w   13.56mhz

炉管尺寸

φ80*1200mm

如图所示：此为该设备沉积过程中的示意图

控制系统

1、nbd-101ep嵌入式操作系统中英文互换图形界面，7寸真彩触屏输入，

智能式人机对话模式，实时加热功率显示，非线性式样温度修正；实验报告自

主生成，实验数据无限次导出。

2、实验过程更加直观，操作更加便捷；

3、具有超温报警、断偶提示、漏电保护等功能。

温度精度

/- 1 ℃

加热元件

mo掺杂的fe-cr-al合金

密封系统

真空度：≤10pa（机械泵）

压力测量与监控

采用数显真空计，可使设备真空度更加直观，实验结果更加准确。

供气系统

采用两路质子流量计精确控制气体流速，与设备集成为一体；

净重

360kg

设备使用注意事项

1、设备炉膛温度≥300℃时，禁止打开炉膛，避免受到伤害；

2、设备使用时，炉管内压力不得超过0.125mpa（绝对压力），以防止压力过大造成设备损坏；

3、真空下使用时，设备使用温度不得超过800℃。

4、供气钢瓶内部气压较高，向炉管内通入气体时，气瓶上必须安装减压阀，建议在选购试验用小压力减压阀，

减压阀量程为0.01mpa-0.15mpa,使用时会更加精确安全。

5、当炉体温度高于1000℃时，炉管内不可处于真空状态，炉管内的气压需和大气压 相当，保持在常压状态；

6、高纯石英管的长时间使用温度≦1100℃

7、加热的实验时，不建议关闭炉管法兰端的抽气阀和进气阀使用。若需要关闭气阀对样品加热，则需时刻关注压力表

的示数，若绝对压力表读数大于0.15mpa，必须立刻打开排气端阀门，以防意外发生（如炉 管破裂，法兰飞出等）

ag真人试玩平台的服务支持

1年质保，提供终身支持（保修范围内不包括易耗部件，例如炉管和密封圈等）。